[유비쿼터스개론] 미세 전자기계 시스템(MEMS) 기술

초소형 3차원 구조물 또는 이를 포함하는 시스템 구현을 통칭하는 미세 전자기계 시스템(MEMS: Micro Electro Mechanical System) 기술은 소형화, 지능화가 요구되는 환경에 대응하기 위한 핵심 기술로 인식된다. 단순히 기존의 기계를 축소한다고 해서 '마이크로 기계'가 되는 것은 아니다. MEMS 기술로 만들어진 기계는 뇌의 신경에 해당하는 논리 회로, 시각 또는 청각 등을 담당할 각종 센서, 팔과 다리 역할을 할 기계 장치, 그리고 이들을 유기적으로 움직이게 할 수 있는 구동 장치까지 완벽하게 갖추어야 하며, 느끼고 생각하면서 운동할 수 있는 하나의 통합 시스템이어야 한다.

반도체 칩은 대개 작고 좁은 면적에 수많은 전기회로를 2차원적으로 집적화한 것이지만, MEMS는 3차원 공간에 회로를 배열하는 점이 다르다.

 

MEMS는 군사, 항공 우주, 자동차, 정보통신, 바이오, 의료, 가전, 엔터테인먼트, 환경, 산업 프로세스 등 광범위한 응용 분야에 적용되고 있다. MEMS 디바이스의 예는 잉크젯 프린터 헤드, 압력 센서, 가속도 센서, 디스플레이 소자 등이 있으며, 다소 한정된 영역에서 사용되고 있다.

 

MEMS의 구현을 위해 소요되는 기술은 크게 설계 및 소재, 가공, 복합화, 에너지 공급, 평가 기술로 나눌 수 있다.